衍射光學(xué)器件 DOEDiffractive beam shapers 光束整形器

Jenoptik 可提供各種高性能整形器，包括圓形方形和線型平頂以及客戶(hù)所需的任意復(fù)雜分布。這些光束整形器為單模（TEM00）輸入光束設(shè)計(jì)。我們同時(shí)也提供適用于多模激光的散射器件和光束均化器。產(chǎn)品覆蓋深紫外（DUV）到長(zhǎng)波紅外（LWIR）的波長(zhǎng)范圍。

產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)：

• DUV 193納米到  IR 波段
• 線寬<20 um
• 衍射效率>90%
• 均勻性<5%
• 任意光束形狀整形

應(yīng)用：

• 激光加工                       
• PCB
• 光學(xué)傳感
• 太陽(yáng)能電池
• 鋰電池
• 光刻和全息
• 半導(dǎo)體
• OLED

案列：OLED面板激光剝離

方形整形器可以在OLED面板激光剝離應(yīng)用中實(shí)現(xiàn)光斑均勻化并提高加工效果。

Diffractive Beam Splitter 光束分束器

Jenoptik 衍射分束器可有效地將入射激光分成多束分離的光束，輸出光束的角間距，強(qiáng)度比以及分布的對(duì)稱(chēng)性可以按客戶(hù)需要設(shè)計(jì)，輸出光束可保持入射光束的發(fā)散角、直徑和偏振態(tài)不變。

產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)：

• 任意數(shù)目分束
• 任意對(duì)稱(chēng)圖案
• 極高的激光損傷閾值
• 衍射效率>90%
• 可實(shí)現(xiàn)離軸設(shè)計(jì)，雜散光<0.2%

應(yīng)用：

• 光學(xué)傳感器
• 材料加工（半導(dǎo)體，太陽(yáng)能）
• 激光雷達(dá)

應(yīng)用案例：

1.     分束器可使輸入激光在多重通道獲得更好的能量分布，從而提高了效率和性能，這使得我們的高精度衍射分束器非常適合激光雷達(dá)，分色、外科手術(shù)以及計(jì)量學(xué)領(lǐng)域等多種應(yīng)用。

2.     半導(dǎo)體Si 劃片采用光束分束器可以減少熱效應(yīng)并提高切割效率

Diffractive Line Generators 線整形器

單橫模激光器如固體、光纖、半導(dǎo)體、氣體以及倍頻或三倍頻激光器的高斯光束分布不能很好地應(yīng)用于均勻照明中。

Jenoptik 的衍射線整形器可將高斯激光束轉(zhuǎn)換為均勻的一維均勻平頂分布，而無(wú)需額外光學(xué)元件

產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)：

• UV 到NIR 波段范圍
• 均勻性<5%
• 衍射效率>90%
• 線寬<100 um

  應(yīng)用：

• 鋰電池激光材料加工
• FPD、半導(dǎo)體
• 全息
• 光學(xué)傳感

案列：鋰電激光表面去除清洗

Grating光柵

e2®-透射脈寬壓縮光柵

是皮秒激光器啁啾脈沖放大器（CPA）的核心部件之一

Jenoptik e2®脈沖壓縮光柵具有極高衍射效率，線密度 > 1700 線每毫米，并可用于不同的應(yīng)用波長(zhǎng)（例如 800 nm、1030 nm）。

極低波相差，可承受很高的激光損傷閾值并在很寬的波長(zhǎng)范圍內(nèi)保證高透射率。內(nèi)置型光柵結(jié)構(gòu)可有效防塵和防止外力機(jī)械損傷

優(yōu)點(diǎn)：

• 高效：最大衍射效率可>98%，有效提高激光器性能
• 靈活：可提供客戶(hù)定制
• 高線密度：實(shí)現(xiàn)緊湊產(chǎn)品設(shè)計(jì)和高脈寬壓縮
• 持久耐用：熔融石英材質(zhì)和雙面增透膜，可保證熱穩(wěn)定性

應(yīng)用領(lǐng)域：激光材料加工：飛秒激光器諧振腔配置

衍射擴(kuò)散器

您可使用業(yè)納衍射擴(kuò)散器吸收一束單色激光束并將其散射為任何可想象的圖案。

和衍射分束器一樣，擴(kuò)散器將一束入射光束轉(zhuǎn)換為多束輸出光束，可以控制輸出光束的角度和強(qiáng)度。不過(guò)，與分束器不同的是，這些光束相互重疊并干涉，生成一種新的均勻化分布。

因此，與折射均勻器類(lèi)似，衍射擴(kuò)散器非常適合用于要求特定激光束形狀的激光應(yīng)用。它們還能讓您在距光源一定距離的特定范圍內(nèi)實(shí)現(xiàn)均勻性能。光學(xué)元件可實(shí)現(xiàn) 3-5% 的均勻性，同時(shí)光線分布的形狀可以是圓形、矩形或可自由選擇。

我們的衍射擴(kuò)散器可以嚴(yán)格控制射束的角度，確保特別高的效率。擴(kuò)散器對(duì)于對(duì)準(zhǔn)不敏感，并且不會(huì)影響輸入射束的偏振。這使得衍射擴(kuò)散器非常適合要求快速感應(yīng)很大區(qū)域的應(yīng)用，例如遙感或激光雷達(dá)（LIDAR/LADAR）領(lǐng)域。擴(kuò)散器涵蓋從深紫外（DUV）到紅外的波長(zhǎng)范圍。

 

光學(xué)部件以及模組

幫您獲得未來(lái)產(chǎn)品基于其職能解決方案

我們可以提供：

包含有多種標(biāo)準(zhǔn)光學(xué)元件增透膜（球面， 非球面，柱面等），紅外光學(xué)元件鍍膜，高反射金屬反射鏡以及高端光學(xué)模組。

光學(xué)模組：預(yù)校準(zhǔn)及一體化光學(xué)子系統(tǒng)

-    衍射光學(xué)器件+DOE+顯微物鏡

-    常規(guī)、電動(dòng)擴(kuò)束鏡+DOE+場(chǎng)鏡

優(yōu)勢(shì)：

-     中/德/美研發(fā)聯(lián)合開(kāi)發(fā)

-     德國(guó)制造品質(zhì)

應(yīng)用：

-    太陽(yáng)能

-     PCB

-    半導(dǎo)體

-    3D增材

 

 

環(huán)生成器

環(huán)生成器可將入射激光轉(zhuǎn)變成單個(gè)或多個(gè)圓環(huán)，圓環(huán)厚度等于衍射極限下的光斑大小，可應(yīng)用于3D測(cè)繪領(lǐng)域。我們除了提供標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品外，還可根據(jù)圓環(huán)數(shù)，圓環(huán)分離角等參數(shù)進(jìn)行定制。

 

高斯整平頂衍射元件平頂光束整形器

光束整形器可將(準(zhǔn))高斯分布的入射激光轉(zhuǎn)變成任意波前形狀的激光輸出(圓形，方形，正方形和線性)，光束光強(qiáng)分布均勻，具有陡峭的邊緣。均勻分布的光斑在光處理過(guò)程中具有很大的優(yōu)勢(shì)，可以有效排除特殊區(qū)域的過(guò)量曝光或曝光不足。另外，陡峭的光束邊緣使光處理區(qū)域和非處理區(qū)域的界限更加明顯。

光束整形器可以分為：光束聚焦整形器，角光束整形器(平頂分布)和M整形器。

 

衍射光學(xué)元件DOE-勻束器

勻束器能靈活地將任何準(zhǔn)直激光精確地轉(zhuǎn)變成任意形狀的均勻光束，非常適用于需要不同形狀且具有隨機(jī)強(qiáng)度剖面的應(yīng)用領(lǐng)域。勻束器的輸出依賴(lài)于輸入光斑的特性，相對(duì)于單模光束，多模光束具有較低的相干性，這使得輸出的斑點(diǎn)更少，從而形成更加均勻的光強(qiáng)輸出。

 

衍射光學(xué)元件DOE 點(diǎn)陣分束器

點(diǎn)陣分束器可將輸入光束轉(zhuǎn)換成1維或2維的光束序列，分束后的光斑具有與入射光束相同的特性(功率和傳播方向除外)。根據(jù)元件上圖樣的不同，點(diǎn)陣分束器可將入射光轉(zhuǎn)變成1維(1xN)或2維(MxN)點(diǎn)陣。根據(jù)不同的設(shè)計(jì)，點(diǎn)陣分光器可工作在特定的波長(zhǎng)并產(chǎn)生特定輸出角度的光斑。另外，我們還提供二進(jìn)制的傳播相位光柵(占空比為50%的特殊1維Damman光柵)。除了提供標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品外，我們還可以根據(jù)光斑數(shù)量和分布，占空比、調(diào)制深度、周期、反射式或傳播式等為客戶(hù)進(jìn)行定制。

 

多焦點(diǎn)聚焦透鏡

多焦點(diǎn)衍射光學(xué)元件由平凸聚焦鏡和依附于其平面上的衍射元件構(gòu)成，可將單個(gè)入射光斑同時(shí)聚焦于多個(gè)固定的焦平面上。多焦點(diǎn)透鏡可作為準(zhǔn)細(xì)長(zhǎng)聚焦元件，增加聚焦深度，應(yīng)用于玻璃激光切割和微加工領(lǐng)域。

 

多波長(zhǎng)聚焦鏡

雙波長(zhǎng)聚焦鏡由平凸鏡和衍射元件組成，可將不同波長(zhǎng)的兩束入射光聚焦于相同的焦點(diǎn)。例如，雙波長(zhǎng)聚焦鏡可以消除CO2激光和可見(jiàn)光之間的色差，將兩束光聚焦于同一焦點(diǎn)。