在有機廢氣處理的諸多方法中，蓄熱式燃燒設備（RTO）應用較廣，一方面是因為只要充分滿足燃燒過程的必要條件，燃燒法可以使有害物質達到完全燃燒氧化變為無害物質，即達到規定的排放要求，另一方面，燃燒法的經濟性主要取決于過程熱量的回收和利用程度，特別在RTO的情況下，由于過程的熱回收率很高（一般在95%以上），通常只需要補充少量的輔助燃料，而當廢氣中有機物濃度達到一定值時（一般大于2-3g/m3，視有機物種類、成分而定），即可實現自供熱操作，而不必添加輔助燃料。
 
      此外，RTO的操作維護十分簡單、可靠，不需經常更換零部件和使用壽命較長。此外，有些凈化方法在處理后，常常還要用RTO作最后處理才能達到磅房要求。當然，其缺點是：容積較大，一次性投資費用較高。
 
催化燃燒設備
 
      催化燃燒是采用催化劑來催化有機廢氣的燃燒過程，催化劑可以降低有機物氧化所需的活化能，并提高反應速率，從而可以在較低的溫度下進行氧化燃燒，使有機物轉化為無害物質，在催化燃燒時，一般采用固體催化劑，因此涉及的是非均相催化反應。
 
      有機廢氣催化燃燒時所用的催化劑大多以陶瓷材料作為載體，并做成顆粒、圓柱體和蜂窩等形狀。
 
      在考慮催化裝置時候，還需要注意三個因素，廢氣風速、溫度、壓降。
 
      風速：即每小時、每立方米廢氣處理量，這決定了設備的尺寸，通常在10000-20000Nm3/（m3·h），對于難分解的有機物選用空速小于5000 Nm3/（m3·h）。
 
      溫度：溫度高低主要取決于風速以及需要處理的有機物的性質，為確保有機物的完全氧化，一般在200-450℃范圍內。
 
      壓降：氣速大小、催化劑的形狀和結構以及床層高度決定壓降的大小，對于顆粒狀催化劑，其壓降一般在10kPa/m，而蜂窩催化劑的壓降約為1kPa/m。為保證通過床層時具有良好的氣體分布，必須有一個最低的壓降；但從節能要求，壓降應盡可能低。
 
      雖然催化燃燒與非催化熱力燃燒相比其氧化溫度明顯要低得多，使有害物質的轉化操作能更為經濟，但其缺點是：對所處理的有機廢氣有一定要求，即不能含有使催化劑中毒、抑郁反應、堵塞或覆蓋催化劑活性中心的物質；此外，催化劑的費用和經常需要更滑也制約了其應用。