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低溫等離子體的不足之處：1.易產生火花放電，在高峰值電壓下，反應器易產生火花放電，火花放電不僅增大電能消耗，而且破壞放電的正常進行，凈化效率低，還存在危險性。2.當填充材料直徑為3mm時，電場強度為4KV/cm時，由于擊穿和火花的產生，對苯等有機物的分解并不十分完全。3.對于低溫等離子設備對設備部件的構型設計、制造精度、嚴密性等要求很高。比如對電場頻率、電壓、高頻的脈沖等參數，成套設備中如果其中的某個參數達不到要求，如電壓電低、頻率過高或過低等會對離子體的產生量造成很大的影響，甚至會造成爆炸事件。

低溫等離子廢氣處理設備的特點：1.使用壽命：使用壽命長。2.投入和維護費用：一次性投入成本較高，后期維護成本少。3.二次污染：無二次污染。4.兼具物理效應、化學效應和生物效應，處理效率高。等離子體中包含大量的高能電子、正負離子、激發態粒子和具有強氧化性的自由基，這些活性粒子和部分廢氣分子碰撞結合，在電場作用下，廢氣分子處于激發態，當廢氣分子獲得的能量大于其分子鍵能的結合能時，廢氣分子的分子鍵斷裂，直接分解成單質原子或由單一原子構成得無害氣體分子。同時產生的大量·OH、·HO2、·O等活性自由基和氧化性極強的O3，能與有害氣體分子發生化學反應，最后生成無害產物。

低溫等離子體是繼固態、液態、氣態之后的物質的第四態，當外加電壓達到氣體的著火電壓時，氣體被擊穿，產生包括電子、各種離子、原子和自由基在內的混合體。放電過程中雖然電子溫度很高，但重粒子溫度很低，整個體系呈現低溫狀態，所以稱為低溫等離子體。低溫等離子體降解污染物是利用這些高能電子、自由基等活性粒子和廢氣中的污染物作用，使污染物分子在極短的時間內發生分解，并發生后續的各種反應以達到分解污染物的目的。