真空泵機組在半導體制造業中有很多種不同的真空泵機組。我們把它們分成兩類：初級泵和高級真空泵機組。初級泵有幾種用途：在腔內創造近似中級真空(壓力小于10-3托)；清空多腔集成設備中接收硅片的區域(如真空鎖)；為高級真空泵機組用來獲得壓力，范圍10-3托到10-9托的。
新型晶片廠中使用的現代真空泵機組是干性的，意味著其內部沒有任何可能回流到工藝腔中沾污硅片的油或潤滑劑。 要先用機械泵將系統抽至低真空，再接通擴散泵冷凝水.然后逐漸加熱使油沸騰并正常回流后再啟動油擴散泵。關閉油擴散泵時.需先切斷加熱器電源，待油停止沸騰后再關冷凝水，再關閉擴散泵前后兩個活塞，接著將機械泵的抽氣日通大氣后才能停機械泵.通常在機械泵和油擴散泵之前安一冷阱，以免有機物、水汽等雜質進入機械泵，影響泵的工作性能。冷阱的冷卻荊可按需要選用干冰、液氮等。 對玻璃真空系統的檢漏，使用高頻火花真空檢漏儀較方便。它是利用低壓強氣體在高頻電場中，發生感應放電時所產生的不同顏色。
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