一、CF4泄漏分析儀技術(shù)原理：  
DKG-ONECF4氣態(tài)分子污染物四氟化碳CF4泄漏分析儀是基于超靈敏懸臂梁增強(qiáng)光聲光譜探測技術(shù)，結(jié)合量子級聯(lián)激光（QCL）光源，工作于CF4的中紅外基本光譜吸收峰。這兩者的結(jié)合提供了足夠的靈敏度可以無時(shí)延的探測微小濃度的CF4噴濺或者溢出，同時(shí)保證了超高水平的穩(wěn)定性。重新校準(zhǔn)的周期長達(dá)幾個(gè)月甚至幾年，大大減低了總體持有成本。  
二、CF4泄漏分析儀特點(diǎn)：  
l高選擇性的監(jiān)測痕量水平的CF4  
l檢測下限(LoD)低于0.1ppb  
l響應(yīng)時(shí)間可設(shè)置，從10秒到幾分鐘  
l動態(tài)范圍寬，運(yùn)行穩(wěn)定  
l無耗材  
l低樣品量（幾ml）  
l內(nèi)置氣體交換系統(tǒng)  
l重新校準(zhǔn)間隔長（幾個(gè)月）  
l直觀的用戶界面  
l內(nèi)置顯示屏，可數(shù)字式或者圖線式顯示結(jié)果  
l可通過局域網(wǎng)遠(yuǎn)程操作  
三、測量參數(shù)：  
l響應(yīng)時(shí)間：取決于用戶可定義通道積分時(shí)間CIT以及氣體沖洗設(shè)定。根據(jù)平均時(shí)間和采樣設(shè)定從大約10秒到幾分鐘不等  
l監(jiān)測下限：小于0.1ppb  
l動態(tài)量程：大于5個(gè)數(shù)量級（檢測下限的100,000倍)  
l重復(fù)性：運(yùn)行條件下，校準(zhǔn)濃度重復(fù)性小于1%  
l準(zhǔn)確度：校準(zhǔn)濃度高于5%，受限于校準(zhǔn)氣體準(zhǔn)確度  
l溫度穩(wěn)定性：在運(yùn)行溫度范圍內(nèi)的環(huán)境溫度變化不會導(dǎo)致漂移  
l壓力穩(wěn)定性：壓力范圍內(nèi)的樣品壓力變化不會導(dǎo)致漂移
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