針對排放廢氣的不同情況，可以采用不同形式的催化燃燒工藝，但不論采用何種工藝形式,其流程的組成具有如下共同的特點。

       (1)進入催化燃燒裝置的氣體首先要經過預處理，除去粉塵、液滴及有害組分，避免催化床層的堵塞和催化劑的中毒。

       (2)進入催化床層的氣體溫度必須要達到所用催化劑的起燃溫度，催化反應才能進行，因此對于低于起燃溫度的進氣，必須進行預熱使其達到起燃溫度。特別是開車時，對冷進氣必須進行預熱，因此催化燃燒法適用于連續排氣的凈化，經開車時對進氣預熱后，即可利用燃燒尾氣的熱量預熱進口氣體。若廢氣為間歇排放，每次開車均需對進口冷氣體進行預熱，預熱器的頻繁啟動，使能耗大大增加。氣體的預熱方式可以采用電加熱也可以采用煙道氣加熱，目前應用較多的為電加熱。

       (3)催化燃燒反應放出大量的反應熱，因此燃燒尾氣溫度很高，對這部分熱量必須回收。一般是首先通過換熱器將高溫尾氣與進口低溫氣體進行熱量交換以減少預熱能耗，剩余熱量可采用其他方式進行回收。在生產裝置排出的有機廢氣溫度較高的場合，如漆包線、絕緣材料等的烘干廢氣，溫度可達 300℃以上，可以不設置預熱器和換熱器，但燃燒尾氣的熱量仍應回收。

       催化燃燒工藝流程有分建式與組合式兩種。

       在分建式流程中，預熱器、換熱器、反應器均作為獨立設備分別設立,其間用相應的管路連接，一般應用于處理氣量較大的場合。

       組合式流程將預熱、換熱及反應等部分組合安裝在同一設備中，即所謂催化燃燒爐，流程緊湊、占地小一般用于處理氣量較小的場合。我國有這類裝置的定型產品，可根據處理氣量的大小進行選擇。

       (4)進行催化燃燒的設備為催化燃燒爐，主要包括預熱與燃燒兩部分。在預熱部分，除設置加熱裝置外，還應保持一定長度的預熱區，以使氣體溫度分布均勻并在使用燃料燃燒加熱進口廢氣時，保證火焰不與催化劑接觸。為防止熱量損失，對預熱段應予以良好保溫。在催化反應部分，為方便催化劑的裝卸，常設計成筐狀或抽屜狀的組裝件。