STK-7050半自動晶圓切割膜貼膜機(jī) 衡鵬



STK-7050半自動晶圓切割膜貼膜機(jī)特點(diǎn)：
自動滾軸貼膜技術(shù)；
手動放置和取出晶圓/承載環(huán)；
自動膠膜進(jìn)給和貼膜；
自動收隔離紙，適用于UV膜和非UV膜；
自動圓形切刀切割膜；
自動撕膜，收廢膜 (選項)； 
晶圓臺盤溫度可編程控制，MAX可達(dá)120℃；
標(biāo)準(zhǔn) 12”晶圓臺盤用于 12”晶圓，可配置金屬臺盤或高密度陶瓷臺盤；
PLC 控制，帶 7”觸摸屏；
配置光簾保護(hù)功能，和緊急停機(jī)按鈕；
三色燈塔和蜂鳴器用于操作狀態(tài)監(jiān)控；



STK-7050半自動晶圓切割膜貼膜機(jī)規(guī)格參數(shù)： 
貼膜原理：自動滾軸貼膜技術(shù)；
晶圓直徑：12”；
晶圓厚度：100~750 微米；
晶圓種類：正常的 V 型缺口晶圓；
膜種類：藍(lán)膜、UV 膜；
            320 毫米 UV/非 UV 膜；
            長度：100 米；
            厚度：0.05~0.2 毫米；
晶圓承載環(huán)：12”DISCO 或者 K&S 標(biāo)準(zhǔn)；
裝卸方式：手動晶圓/承載環(huán)放置與取出；
防靜電控制：去離子風(fēng)扇；
臺盤溫度：室溫~ 120℃，可編程控制；
切割系統(tǒng)：環(huán)型切刀用于 12”DISCO 承載環(huán)；
控制單元：基于 PLC 控制，帶 7”觸摸屏；
安全防護(hù)：配置光簾保護(hù)和緊急停機(jī)按鈕；
電源電壓：單相交流電 220V,16A； 
壓縮空氣： 60 PSI 清潔干燥壓縮空氣,流量每分鐘 2.5 立方英尺；
機(jī)器結(jié)構(gòu)：全鋁型材制造，堅固耐用；
機(jī)器外殼：白色噴塑金屬外殼；
體積：800 毫米(寬)*1450 毫米(深)*1980 毫米(高)； 
凈重：350 公斤；



半自動晶圓切割膜貼膜機(jī)性能：
晶圓收益：≥99.9%； 
貼膜質(zhì)量：沒有氣泡（不包括灰塵顆粒氣泡）；
每小時產(chǎn)能：≥80 片晶圓；
MTBF：>500 小時；
MTTR：<1 小時；
停機(jī)時間：<3%；



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