天津中環(huán)電爐 高溫箱式電爐 高溫管式電爐 箱式電爐 真空箱式氣氛爐 高溫真空燒結(jié)爐 cvd電爐
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產(chǎn)品價(jià)格面議
產(chǎn)品品牌中環(huán)電爐
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更新日期2022-06-20 10:14
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品牌： |
中環(huán)電爐 |
所在地： |
天津 |
起訂： |
未填 |
供貨總量： |
未填 |
有效期至： |
長期有效 |
天津中環(huán)電爐股份有限公司
聯(lián)系人：黃女士 022-26980130
手 機(jī)：15122725930
QQ： 2258734449
郵箱： ctjzh2828@126.com
地址： 天津北辰科技園區(qū)雙川道11號(hào)
網(wǎng)址： http://www.ctjzh.com/
產(chǎn)品用途
PECVD系統(tǒng)是借助射頻使含有薄膜組成原子的氣體電離，在局部形成等離子體，而等離子體化學(xué)活性很強(qiáng)，很容易發(fā)生反應(yīng)，在基片上沉積出所期望的薄膜。
產(chǎn)品組成
PECVD系統(tǒng)配置；
1.1200度開啟式滑動(dòng)單溫區(qū)真空管式爐
2.等離子射頻電源
3.多路質(zhì)量流量控制系統(tǒng)
4.真空系統(tǒng)單獨(dú)購買）
產(chǎn)品特點(diǎn)
電源范圍廣；溫度范圍寬；濺射區(qū)域長；整管可調(diào)；精致小巧，性價(jià)比高，可實(shí)現(xiàn)快速升降溫，是實(shí)驗(yàn)室生長薄膜石墨烯，金屬薄膜，陶瓷薄膜，復(fù)合薄膜等的理想選擇，也可作為擴(kuò)展等離子清洗刻蝕使用。
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系統(tǒng)名稱 |
集成型PECVD系統(tǒng) |
1200℃小型PECVD系統(tǒng) |
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系統(tǒng)型號(hào) |
PECVD-12IH-500A |
PECVD-12IH-4Z/G |
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控制方式 |
液晶屏微PLC控制系統(tǒng) |
手動(dòng) |
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溫度 |
1200℃ |
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加熱區(qū)長度 |
200mm |
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恒溫區(qū)長度 |
100mm |
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溫區(qū) |
單溫區(qū) |
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石英管管徑 |
Φ60mm |
Φ50mm |
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額定功率 |
1.2Kw |
2Kw |
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額定電壓 |
220V |
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滑動(dòng)方式及距離 |
自動(dòng)滑動(dòng);200mm |
手動(dòng)滑動(dòng);200mm |
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溫度控制 |
30段程序控溫 |
50段程序控溫 |
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控制精度 |
±1℃ |
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爐管工作溫度 |
＜1200℃ |
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氣路法蘭 |
采用多環(huán)密封技術(shù)卡箍快速連接 |
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排風(fēng)冷卻裝置 |
先進(jìn)的空氣隔熱技術(shù)，結(jié)合熱感應(yīng)技術(shù)，當(dāng)爐體表面溫升到50℃時(shí)， 排溫風(fēng)扇將自動(dòng)啟動(dòng)，使?fàn)t體表面快速降溫。 |
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氣體控制方式 |
質(zhì)量流量計(jì)按鍵式） |
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氣路數(shù)量 |
2路2-4路） |
4路可根據(jù)具體需要選配氣路數(shù)量） |
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流量范圍 |
0-500sccm(標(biāo)準(zhǔn)毫升/分，可選配）氮?dú)鈽?biāo)定 |
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精度 |
±1%F.S |
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響應(yīng)時(shí)間 |
1sec |
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工作溫度流量計(jì)） |
20-120℃ |
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工作壓力 |
進(jìn)氣壓力0.05-0.3Mpa(表壓力） |
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進(jìn)氣方式 |
采用防倒流設(shè)計(jì) |
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規(guī)格 |
中真空集成型請單獨(dú)購買） |
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系統(tǒng)真空范圍 |
10Pa-100Pa |
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