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產品品牌中環電爐
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更新日期2022-06-20 10:14
品牌： |
中環電爐 |
所在地： |
天津 |
起訂： |
未填 |
供貨總量： |
未填 |
有效期至： |
長期有效 |
天津中環電爐股份有限公司
聯系人：黃女士 022-26980130
手 機：15122725930
QQ： 2258734449
郵箱： ctjzh2828@126.com
地址： 天津北辰科技園區雙川道11號
網址： http://www.ctjzh.com/
產品用途
PECVD系統是借助射頻使含有薄膜組成原子的氣體電離，在局部形成等離子體，而等離子體化學活性很強，很容易發生反應，在基片上沉積出所期望的薄膜。
PECVD系統配置；
1.1200度開啟式滑動單溫區真空管式爐
2.等離子射頻電源
3.多路質量流量控制系統
4.真空系統單獨購買）
產品特性;
電源范圍廣；溫度范圍寬；濺射區域長；整管可調；精致小巧，性價比高，可實現快速升降溫，是實驗室生長薄膜石墨烯，金屬薄膜，陶瓷薄膜，復合薄膜等的理想選擇，也可作為擴展等離子清洗刻蝕使用。
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系統名稱 |
集成型PECVD系統 |
1200℃小型PECVD系統 |
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系統型號 |
PECVD-12IH-500A |
PECVD-12IH-4Z/G |
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控制方式 |
液晶屏微PLC控制系統 |
手動 |
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溫度 |
1200℃ |
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加熱區長度 |
200mm |
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恒溫區長度 |
100mm |
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溫區 |
單溫區 |
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石英管管徑 |
Φ60mm |
Φ50mm |
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額定功率 |
1.2Kw |
2Kw |
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額定電壓 |
220V |
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滑動方式及距離 |
自動滑動;200mm |
手動滑動;200mm |
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溫度控制 |
30段程序控溫 |
50段程序控溫 |
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控制精度 |
±1℃ |
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爐管工作溫度 |
＜1200℃ |
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氣路法蘭 |
采用多環密封技術卡箍快速連接 |
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排風冷卻裝置 |
先進的空氣隔熱技術，結合熱感應技術，當爐體表面溫升到50℃時， 排溫風扇將自動啟動，使爐體表面快速降溫。 |
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氣體控制方式 |
質量流量計按鍵式） |
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氣路數量 |
2路2-4路） |
4路可根據具體需要選配氣路數量） |
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流量范圍 |
0-500sccm(標準毫升/分，可選配）氮氣標定 |
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精度 |
±1%F.S |
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響應時間 |
1sec |
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工作溫度流量計） |
20-120℃ |
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工作壓力 |
進氣壓力0.05-0.3Mpa(表壓力） |
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進氣方式 |
采用防倒流設計 |
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規格 |
中真空集成型請單獨購買） |
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系統真空范圍 |
10Pa-100Pa |
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