CDG025D電容膜片式真空計(jì)377-001

INFICON SKY CDG025D 電容膜片真空計(jì)是高精度溫度補(bǔ)償型真空計(jì)設(shè)計(jì)用于在嚴(yán)酷的制造工具環(huán)境中具有穩(wěn)定的性能. 先進(jìn)的數(shù)字電子學(xué)提高真空計(jì)的性能和提供容易操作的特點(diǎn)如一鍵調(diào)零的功能和設(shè)點(diǎn)調(diào)整. 抗腐蝕的超純陶瓷傳感器提供卓越的零點(diǎn)穩(wěn)定性, 以及引起能達(dá)到數(shù)百萬次壓力循環(huán)包括大氣沖擊的長的使用壽命.獨(dú)特的傳感器屏蔽 (專利申請) 保護(hù)真空計(jì)防止過程污染. 經(jīng)久耐用的機(jī)械結(jié)構(gòu)和數(shù)字電子學(xué)提高 EMC 兼容性, 長期穩(wěn)定性和溫度補(bǔ)償能力. CDG025D 為加電源后的快速穩(wěn)定性和暴露大氣后的快速恢復(fù)性設(shè)定新的標(biāo)準(zhǔn).

優(yōu)勢：

全量程范圍從100毫乇 … 1000乇

加電源后快速穩(wěn)定性

從大氣壓的快速恢復(fù)性

抗腐蝕的陶瓷傳感器

卓越的長期訊號穩(wěn)定性

溫度補(bǔ)償

傳感器有防污染保護(hù)

一鍵調(diào)零功能

寬范圍電源

兩個設(shè)點(diǎn) (可選)

RS232 接口 (可選)

用途：

半導(dǎo)體制造設(shè)備用于刻蝕, CVD, PVD, ALD

數(shù)據(jù)貯存和顯示器制造設(shè)備

工業(yè)真空設(shè)備

一般高精度壓強(qiáng)測量

訂貨號：

CDG025D電容膜片式真空計(jì) 10Torr  DN 16 ISO-KF 377-001