產(chǎn)品描述

上海伯東代理美國(guó)考夫曼博士設(shè)立的考夫曼公司 KRI 離子源, 100%原廠原裝進(jìn)口.

KRI 射頻離子源 RFICP 380 屬于大面積射頻離子源, 離子束流: >1500 mA; 離子動(dòng)能: 100-1200 V; 中和器: LFN 2000.

離子束可聚焦, 平行, 散射.

采用射頻技術(shù)產(chǎn)生離子, 無(wú)需電離燈絲, 工藝時(shí)間更長(zhǎng).

離子源采用模塊化設(shè)計(jì), 方便清潔/ 保養(yǎng)/ 維修/ 安裝.

通入氣體可選 Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, others.

美國(guó) KRI 射頻離子源 RFICP 380 產(chǎn)品特性：

美國(guó) KRI 射頻離子源 RFICP 380 特性:

1. 大面積射頻離子源

2. 提供高密度離子束, 滿足高工藝需求

3. 采用射頻技術(shù)產(chǎn)生離子, 無(wú)需電離燈絲, 工藝時(shí)間更長(zhǎng), 更適合時(shí)間長(zhǎng)的工藝要求

4. 離子束流: >1500 mA

5. 離子動(dòng)能: 100-1200 V

6. 中和器: LFN 2000

7. 采用自動(dòng)控制器, 一鍵自動(dòng)匹配

8. RF Generator 可根據(jù)工藝自行選擇離子濃度, EX: 1kW or 2kW

9. 離子源采用模塊化設(shè)計(jì), 方便清潔/ 保養(yǎng)/ 維修/ 安裝

10. 柵極材質(zhì)鉬和石墨, 堅(jiān)固耐用

11. 通入氣體可選 Ar, Kr, Xe, O₂, N₂, H_2, others

美國(guó) KRI 射頻離子源 RFICP 380 技術(shù)參數(shù)：

伯東 KRI 射頻離子源 RFICP 380 技術(shù)參數(shù)：