VGT-907FHA 為半導體配件自動智能式超聲波清洗機，設備共有 9 個功能槽，配置有循環過濾系統、自動恒溫系統、觸摸屏系統、拋動系統、超聲波清洗系統、預熱箱系統、溢流系統、鼓泡系統、酸洗系統、IPA 脫水系統等。設備采用水溶劑洗滌、純水漂洗、IPA 脫水，為環保型清洗機；

清洗過程中工件通過超聲波高頻產生的“氣化現象”的沖擊和系統自身不停地作上下運動，增加了液體的摩擦，從而使工件表面的污垢能夠迅速脫落，實現其高清潔度的目的。

本設備工件提升及橫移機構：由自動智能式機械手完成

提升結構：

由電機帶動鏈條傳送實現工件的提升下降運動，電機采用日本“松下”伺服馬達（速度變頻可調），功率 1/2HP。

橫移結構：

1. 電機采用日本“松下”伺服馬達；

2. 速度變頻可調。

優勢：

1. 為保證清洗工件及清洗液的潔凈，傳動機構不位于洗凈工件的上部，可避免輸送時金屬磨耗粉、潤滑油等掉落。

2. 后部傳動機構與前部溶劑清洗區域用隔板分開，防止后部傳動粉塵進入前部。

本設備的超聲IPA脫水漂洗槽的槽體結構：

1. 每槽設四面溢流口，溢水槽寬 35 mm;

2. 配備 IPA 滅火系統、防爆系統；

3. 各槽底部設排液閥；

4. 槽外設置拋動；

5. 加熱功率：無;

6. 槽體采用內外雙面焊接，以防微小雜物殘留在縫隙中。

本設備的鼓泡系統：

1. 氣源：最好接入氮氣源；為有效防止“二次污染”，請謹慎接入空壓機氣源；如確要接入空壓機氣源，請務必接入干凈、干

燥、過濾后的氣體；

2. 流量：流量可調；

3. 鼓泡管離槽體底部約 50mm 處，方便清理。

本設備的運輸、安裝調試及技術服務：

1. 運輸：供方負責，需方負責設備到廠后的現場就位工作；

2. 供方負責安裝調試，隨設備到需方現場安裝調試，供方配合需方試清洗及觀察 3 天；

3. 提供從設備驗收合格之日起 1 年的免費技術支持及服務，對非人為損壞或自然災害等造成的損壞，保證省內 24 小時內響

應，省外 48 小時內響應；保修期過后，實行以人工旅差費+ 材料費結算的優惠維修服務。